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阻抗测量仪器

型  号: ZA57630

名  称:阻抗测量仪器

品  牌:NF阻抗分析仪

简  述: 结合用途配备丰富的功能!以最适合DUT特性的设定,支持高重现性且准确的测量。

  • 产品特点
  • 产品参数
  • 应用说明
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  • 资源下载
    测量真正的特性。
    电子零件、半导体器件、材料、电池...在实际的使用条件下进行测量。
    【基本精度】+0.08%
    【阻抗范围】10 μΩ ~ 100 GΩ(模式:IMPD-EXT)
    【DC 偏置】-5 V ~ +5 V /-40 V ~ +40 V (1 kHz 以上)-100 mA ~ +100 mA
    【测量参数】Z, R, X, Y, G, B, Ls, Lp, Cs, Cp, Rs, Rp, θz, θy, D, Dε, Dμ,Q, V, I, εs, εs′, εs″, μs, μs′, μs″, FREQUENCY
    【频率范围】10 μHz ~ 36 MHz
    【测量AC信号级别】0.01 mVrms ~ 3 Vrms0.1 μArms ~ 60 mArms
    【测量时间】0.5 ms/point
    快速测量

    实现了业界最快的0.5ms/point。缩短生产线的节拍时间,提高测量作业的效率。此外,通过增加设定的测量时间,使测量结果平均化,减轻噪声的影响。可视需要选择最合适的测量时间。

    【4种测量模式】——应对广泛的
    ■IMPD-3T 标准测量模式
    本模式可以在广泛的频率范围内进行高精度测量。可使用测试线及测试夹具,应对各种形状的试样。

    ■IMPD-2T 高频测量模式
    本模式可以在10MHz以上的高频下进行稳定的测量。使用N型连接器进
    行2端子测量,即便配线长,也可以进行稳定的测量。

    ■IMPD-EXT外部扩展测量模式
    本模式为外部连接放大器或分流电阻等物进行测量。
    可以通过施加高压信号或检测微小电压/电流进行单独使用本仪器无法应对的测量。

    ■G-PH增益/相位测量模式
    本模式可以测量滤波器、放大器等的传输特性。向被测电路施加扫描信号高精度地测量其频率响应(增益、相位)。

    【正面面板测量端子】


    【共振点跟踪测量】
    本功能在测量具有共振的试样时,使测量频率自动跟踪试样的共振频率。即使试样具有振幅依赖性或共振频率随时间变化而波动,也可以始终进行与共振频率一致的测量。本功能便于在压电元件的共振点附近进行连续测量。

    【压电常数计算】
    本功能测量压电陶瓷的频率-阻抗特性,并计算机电耦合系数和压电常数等。
    按照JEITA标准《EM-4501A 压电陶瓷振荡器的电气试验方法》规定的方法计算参数。

    【等效电路估算】
    本功能将扫频测量获得的阻抗特性应用于等效电路模型,从而求出LCR元件的值(电感值、电容值、电阻值)。准备有以下6种模型。等效电路估算结果可以用CSV 格式保存。

    【相对介电常数测量】
    可以预先设定试样尺寸等信息,将阻抗测量结果(Cp,Rp)换算为复相对介电常数进行显示。
    相对介电常数εs 相对介电常数实部εs’相对介电常数虚部εs”损耗率Dε

    【相对导磁率测量】
    可以预先设定试样尺寸等信息,将阻抗测量结果(Ls, Rs)换算为复相对导磁率进行显示。
    ●相对导磁率 μs ●相对导磁率实部 μs′ ●相对导磁率虚部 μs″ ●损耗率 Dμ

    【外部基准时钟】
    外部的 10MHz 时钟信号可以用作基准时钟。
    通过使用精度高于内部基准时钟的基准时钟,可以提高测量频率的精度和稳定性。
    此外,通过采用与其他仪器通用的基准时钟,可以共享频率精度。


    【存储器操作】
    测量条件及测量数据可以保存到内存或 USB 存储器中,也可以进行读取。
    【用于电化学阻抗特性测量】
    配备用于测量各种电化学阻抗的功能,例如测量电池的内部阻抗等。
    ●可以从超低频 10 μHz 开始测量
    ●利用电位梯度消除功能,抑制充放电对电位变化测量的影响
    ●利用 0° SYNC 功能,在相位 0° 处变更测量频率,使测量前后对试样的电荷转移量为零。
    ●利用测量同步驱动功能,仅在测量过程中输出信号,从而将施加信号产生的电池负担减轻到最小限度。


    测量速度 最快 0.5 ms/point,缩短了节拍时间,并进一步完善了零件筛选功能!!
    【比较器 / 处理器接口】
    比较器功能针对测量结果预先设定判定范围,为筛选试样而进行分类以及判定是否合格。

    【规格】如无特别记载,条件为在23°C±5°C下预热至少需要30分钟。

    ■测量模式

    测量模式 IMPD-3T(标准测量模式)
    IMPD-2T(高频测量模式)
    IMPD-EXT(外部扩展测量模式)
    G-PH(增益/相位测量模式


    【测量值显示范围】
    ■IMPD-3T(标准测量模式),IMPD-2T(高频测量模式)

    Z 0 Ω ~ 999.999 GΩ
    分辨精度 6位 或 1 aΩ
    R,X ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω
    分辨精度 6位 或 1 aΩ
    Y 0 S ~ 999.999 GS
    分辨精度 6位 或 1 aS
    G,B ±(1 a ~ 999.999 G) S 及 0 S
    分辨精度 6位 或 1 aS
    Ls,Lp ±(1 a ~ 999.999 G) H 及 0 H
    分辨精度 6位 或 1 aH
    Cs,Cp ±(1 a ~ 999.999 G) F 及 0 F
    分辨精度 6位 或 1 aF
    Rs,Rp ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω
    分辨精度 6位 或 1 aΩ
    θz, θy ±180° -180.000° ~ 179.999° 分辨精度 0.001°
    0°~360° 0.000° ~ 359.999° 分辨精度 0.001°
    -360°~0° -360.000° ~ -0.001° 分辨精度 0.001°
    UNWRAP -9999.999° ~ +9999.999° 分辨精度 0.001°
    D,Dε,Dμ ±(0.00001 ~ 9999.9) 及 0(无名数)
    分辨精度 6位 或 0.00001
    Qc,QL ±(0.00001 ~ 99999.9) 及 0(无名数)
    分辨精度 6位 或 0.00001
    V 0 ~ 9.99999 Vrms
    0 ~ 9.99999 mArms
    分辨精度 6位 或 1 aVrms
    I 0 ~ 99.9999 mArms
    分辨精度6位或1aArms
    εs, εs', εs''
    μs, μs', μs''
    ±(1 a ~ 999.999 G) 及 0(无名数)
    分辨精度 6位 或 1 a
    FREQUENCY
    (共振点跟踪测量时)
    10 μHz ~ 36.000 000 00 MHz
    分辨精度 10 μHz

    ■IMPD-EXT(外部扩展测量模式)

    Z 0 Ω ~ 999.999 GΩ
    分辨精度 6位 或 1 aΩ
    R,X ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω
    分辨精度 6位 或 1 aΩ
    Y 0 S ~ 999.999 GS
    分辨精度 6位 或 1 aS
    G,B ±(1 a ~ 999.999 G) S 及 0 S
    分辨精度 6位 或 1 aS
    Ls,Lp ±(1 a ~ 999.999 G) H 及 0 H
    分辨精度 6位 或 1 aH
    Cs,Cp ±(1 a ~ 999.999 G) F 及 0 F
    分辨精度 6位 或 1 aF
    Rs,Rp ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω
    分辨精度 6位 或 1 aΩ
    θz, θy ±180° -180.000° ~ 179.999°
    0°~360° 0.000° ~ 359.999°
    -360°~0° -360.000° ~ -0.001°
    UNWRAP -9999.999° ~ +9999.999°
    D,Dε,Dμ ±(0.00001 ~ 9999.9) 及 0(无名数)
    分辨精度 6位 或 0.00001
    Qc,Ql ±(0.00001 ~ 99999.9) 及 0(无名数)
    分辨精度 6位 或 0.00001
    V1,V2 0 ~ 999.999 GVrms,分辨精度 6位 或 1 aVrms
    使用各自的输入加压设定值对 PORT1 测量电压、PORT2 测量电压进行校正的电压
    εs, εs', εs'' ±(1 a ~ 999.999 G) 及 0(无名数)
    分辨精度 6位 或 1 a
    μs, μs', μs'' ±(1 a ~ 999.999 G) 及 0(无名数)
    分辨精度 6位 或 1 a
    FREQUENCY
    (共振点跟踪测量时)
    10 μHz ~ 36.000 000 00 MHz
    分辨精度 10 μHz

    ■G-PH(增益/相位测量模式)

    Gain dBR(增益dB) −999.999 dB ~ 999.999 dB,分辨精度 0.001 dB
    R(增益绝对值) 0 ~ 999.999 G(无名数),分辨精度 6位 或 1 a
    a(增益实部) ±(1 a ~ 999.999 G) a 及 0(无名数),
    分辨精度 6位 或 1 a
    b(增益虚部) ±(1 a ~ 999.999 G) a 及 0(无名数),
    分辨精度 6位 或 1 a
    θ(phase) ±180° −180.000° ~ 179.999°,分辨精度 0.001°
    0° ~ 360° 0.000° ~ 359.999°,分辨精度 0.001°
    −360° ~ 0° −360.000° ~ −0.001°,分辨精度 0.001°
    UNWRAP −9999.999° ~ +9999.999°,分辨精度 0.001°
    GD(群延迟) ±(1 a ~ 999.999 G) s 及 0 s,分辨精度 6位 或 1 as
    V1,V2 0 ~ 999.999 GVrms,分辨精度 6位 或 1 aVrms
    使用各自的输入加压设定值对 PORT1 测量电压、
    PORT2 测量电压进行了校正的电压


    【测量端子】
    ■IMPD-3T(标准测量模式)HcUR/OSC

    连接器 BNC 型连接器(正面面板)
    频率 10 μHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 关闭)
    1 kHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 开启)
    设定分辨率 10 μHz,精度 ±10 ppm(使用内部基准时钟时)
    测量信号级别 电压 0 ~ 3.00 Vrms
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I/HV DC 偏置设定 [V]≤42.0
    设定分辨率 3 位 或 10 μVrms,以较大值为准
    精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载)
    电流 0 ~ 60 mArms
    (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0
    设定分辨率 3 位 或 100 nArms,以较大值为准,精度:标称值
    频率特性 ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下)
    ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下)
    ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下)
    ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下)
    ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下)
    1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω
    失真率 0.2 % 以下
    (100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载)
    ALC (CV 恒定电压) 或 (CC 恒定电流) / OFF
    输出限制 电压:10 μVrms ~ 3.00 Vrms
    设定分辨率:3 位 或 10 μVrms,以较大值为准
    电流:100 nArms ~ 60 mArms
    设定分辨率:3 位 或 100 nArms,以较大值为准
    标准 DC 偏置
    (选择正面 Hcab/OSC 或背面 DC BIAS OUT)
    电压 −5.00 V ~ +5.00 V
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0
    设定分辨率:10 mV
    精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时
    电流 −100 mA ~ +100 mA
    (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0
    设定分辨率:100 nA,精度:标称值
    HV DC 偏置 −40.00 V ~ +40.00 V(无负载时)
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I/HV DC 偏置设定 [V]≤42.0
    设定分辨率:10 mV
    精度:±( I/HV DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时
    输出阻抗:1 kΩ(标称值)
    输出阻抗 50 Ω(标称值)


    ■HPoT/PORT1, LcUR/PORT2

    输入端子 BNC 型连接器(正面面板)
    量程 10 Ω, 100 Ω, 1 kΩ, 10 kΩ, 100 kΩ, 1 MΩ, AUTO


    ■IMPD-2T(高频测量模式)PORT

    连接器 N 型连接器(正面面板)
    频率 10 μHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 关闭)
    1 kHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 开启)
    设定分辨率 10 μHz,精度 ±10 ppm(使用内部基准时钟时)
    测量信号级别 电压 0 ~ 3.00 Vrms
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0
    设定分辨率 3 位 或 10 μVrms,以较大值为准
    精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载)
    电流 0 ~ 60 mArms
    (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0
    设定分辨率 3 位 或 100 nArms,以较大值为准,精度:标称值
    频率特性 ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下)
    ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下)
    ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下)
    ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下)
    ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下)
    1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω
    失真率 0.2 % 以下
    (100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载)
    ALC (CV(恒定电压) 或 CC(恒定电流)) / OFF
    输出极限 电压:10 μVrms ~ 3.00 Vrms
    设定分辨率:3 位 或 10 μVrms,以较大值为准
    电流:100 nArms ~ 60 mArms
    设定分辨率:3 位 或 100 nArms,以较大值为准
    标准 DC 偏置 电压 −5.00 V ~ +5.00 V
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0
    设定分辨率:10 mV
    精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时
    电流 −100 mA ~ +100 mA
    (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0
    设定分辨率:100 nA,精度:标称值
    HV DC 偏置 −40.00 V ~ +40.00 V(无负载时)
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I/HV DC 偏置设定 [V]≤42.0
    设定分辨率:10 mV
    精度:±( I/HV DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时
    输出阻抗:1 kΩ(标称值)
    量程 1 Ω, 10 Ω, 100 Ω, 1 kΩ, 10 kΩ, 100 kΩ, 1 MΩ, AUTO


    ■IMPD-EXT(外部扩展测量模式)
    HcuR/OSC如无特别说明,试样驱动放大器增益设定K=+1.0.ALC关闭

    连接器 BNC 型连接器(正面面板)
    频率 10 μHz ~ 36 MHz
    设定分辨率 10 μHz,精度:±10 ppm(使用内部基准时钟时)
    测量信号级别 设定范围 0 ~ 999 GVrms
    根据 K,限制为 0 ~ 3.0)×K |V|×Vrms
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0)
    分辨率:3 位 或 10 μVrms,以较大值为准
    精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载)
    频率特性 ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下)
    ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下)
    ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下)
    ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下)
    ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下)
    1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω
    失真率 0.2 % 以下(100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载)
    ALC PORT1 / PORT2 / OFF
    输出限制 电压:1 aVrms ~ 999 GVrms
    设定分辨率:3 位 或 1 aVrms,以较大值为准
    标准 DC 偏置 −999 GV ~ +999 GV
    根据 K,限制为 −5.00 K V ~ +5.00 K V
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0 [K])
    分辨率:3 位 或 10 mV (K≤1),以较大值为准
    精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时
    输出阻抗 50 Ω(标称值)
    试样驱动放大器
    增益设定 K
    设定定向被测对象供应信号的放大器或衰减器的增益
    可直接设定施加于测量信号级别,DC 偏置
    设定范围:±(1E-12 ~ 1E+12)
    设定分辨率:3 位 或 1E-12,以较大值为准


    ■HPoT/PORT1, LcUR/PORT2

    输入端子 BNC 型连接器(正面面板)
    输入阻抗 1 MΩ ±2% 并联 25 pF ±5 pF (Hpot) / 30 pF ±5 pF (Lcur)
    无损最大输入电压 ±20 V
    量程 10 mVrms ~ 5 Vrms(1-2-5 程控时序)
    7 Vrms, AUTO(PORT1, PORT2 可个别设定)
    ● 量程和最大测量输入电压
    量程 [rms] 最大测量输入电压 量程 [rms] 最大测量输入电压
    10 mV ±16 mV 500 mV ±780 mV
    20 mV ±31 mV 1 V ±1.6 V
    50 mV ±78 mV 2 V ±3.1 V
    100 mV ±160 mV 5 V ±7.8 V
    200 mV ±310 mV 7 V, AUTO ±11 V
    输入加权 校正电压探头、电流探针、前置放大器等的转换比进行测量(PORT1, PORT2 可个别设定)
    设定范围:±(1.00000E−15 ~ 999.999E+09)
    设定分辨率:6 位 或 1E−15
    超范围检测 设定范围:Hpot/PORT1: 0 ~ 7 Vrms;Lcur/PORT2: 0 ~ 7 Vrms
    设定分辨精度:3 位 或 1 μVrms,以较大值为准
    处理:蜂鸣器警告或测量中止(可开启/关闭)


    ■DC BIAS OUT

    输入端子 BNC 型连接器(背面板)
    设定范围 −999 GV ~ +999 GV
    根据 K,限制为 −5.00×K V ~ +5.00×K V
    (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0×|K|
    分辨率:3 位 或 10 mV(K=1 时),以较大值为准
    精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 30 mV),无负载时
    输出阻抗 600 Ω(标称值)


    ■G-PH(增益/相位测量模式)HcUR/OSC

    连接器 BNC 型连接器(正面面板)
    频率 10 μHz ~ 36 MHz
    设定分辨率 10 μHz,精度:±10 ppm(使用内部基准时时钟)
    测量信号级别 设定范围 0 ~ 999 GVrms
    根据 K,限制为 (0 ~ 3.0)×|K| Vrms
    分辨率:3 位 或 10 μVrms(K=1 时),以较大值为准
    精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载)
    频率特性 ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下)
    ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下)
    ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下)
    ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下)
    ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下)
    1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω
    失真率 0.2 % 以下(100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载)
    ALC PORT1 / PORT2 / OFF
    输出限制 电压:1 aVrms ~ 999 GVrms
    设定分辨率:3 位 或 1 aVrms,以较大值为准


    ■G-PH(增益/相位测量模式)续

    输入端子 BNC 型连接器(正面面板)

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