型 号: ZA57630
名 称:阻抗测量仪器
品 牌:NF阻抗分析仪
简 述: 结合用途配备丰富的功能!以最适合DUT特性的设定,支持高重现性且准确的测量。
实现了业界最快的0.5ms/point。缩短生产线的节拍时间,提高测量作业的效率。此外,通过增加设定的测量时间,使测量结果平均化,减轻噪声的影响。可视需要选择最合适的测量时间。
【4种测量模式】——应对广泛的
■IMPD-3T 标准测量模式
本模式可以在广泛的频率范围内进行高精度测量。可使用测试线及测试夹具,应对各种形状的试样。

■IMPD-2T 高频测量模式
本模式可以在10MHz以上的高频下进行稳定的测量。使用N型连接器进
行2端子测量,即便配线长,也可以进行稳定的测量。

■IMPD-EXT外部扩展测量模式
本模式为外部连接放大器或分流电阻等物进行测量。
可以通过施加高压信号或检测微小电压/电流进行单独使用本仪器无法应对的测量。

■G-PH增益/相位测量模式
本模式可以测量滤波器、放大器等的传输特性。向被测电路施加扫描信号高精度地测量其频率响应(增益、相位)。

【正面面板测量端子】

【共振点跟踪测量】
本功能在测量具有共振的试样时,使测量频率自动跟踪试样的共振频率。即使试样具有振幅依赖性或共振频率随时间变化而波动,也可以始终进行与共振频率一致的测量。本功能便于在压电元件的共振点附近进行连续测量。

【压电常数计算】
本功能测量压电陶瓷的频率-阻抗特性,并计算机电耦合系数和压电常数等。
按照JEITA标准《EM-4501A 压电陶瓷振荡器的电气试验方法》规定的方法计算参数。

【等效电路估算】
本功能将扫频测量获得的阻抗特性应用于等效电路模型,从而求出LCR元件的值(电感值、电容值、电阻值)。准备有以下6种模型。等效电路估算结果可以用CSV 格式保存。

【相对介电常数测量】
可以预先设定试样尺寸等信息,将阻抗测量结果(Cp,Rp)换算为复相对介电常数进行显示。
相对介电常数εs 相对介电常数实部εs’相对介电常数虚部εs”损耗率Dε
【相对导磁率测量】
可以预先设定试样尺寸等信息,将阻抗测量结果(Ls, Rs)换算为复相对导磁率进行显示。
●相对导磁率 μs ●相对导磁率实部 μs′ ●相对导磁率虚部 μs″ ●损耗率 Dμ

【外部基准时钟】
外部的 10MHz 时钟信号可以用作基准时钟。
通过使用精度高于内部基准时钟的基准时钟,可以提高测量频率的精度和稳定性。
此外,通过采用与其他仪器通用的基准时钟,可以共享频率精度。

【存储器操作】
测量条件及测量数据可以保存到内存或 USB 存储器中,也可以进行读取。
【用于电化学阻抗特性测量】
配备用于测量各种电化学阻抗的功能,例如测量电池的内部阻抗等。
●可以从超低频 10 μHz 开始测量
●利用电位梯度消除功能,抑制充放电对电位变化测量的影响
●利用 0° SYNC 功能,在相位 0° 处变更测量频率,使测量前后对试样的电荷转移量为零。
●利用测量同步驱动功能,仅在测量过程中输出信号,从而将施加信号产生的电池负担减轻到最小限度。
测量速度 最快 0.5 ms/point,缩短了节拍时间,并进一步完善了零件筛选功能!!
【比较器 / 处理器接口】
比较器功能针对测量结果预先设定判定范围,为筛选试样而进行分类以及判定是否合格。

■测量模式
| 测量模式 | IMPD-3T(标准测量模式) |
| IMPD-2T(高频测量模式) | |
| IMPD-EXT(外部扩展测量模式) | |
| G-PH(增益/相位测量模式 |
【测量值显示范围】
■IMPD-3T(标准测量模式),IMPD-2T(高频测量模式)
| Z | 0 Ω ~ 999.999 GΩ | |
| 分辨精度 6位 或 1 aΩ | ||
| R,X | ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω | |
| 分辨精度 6位 或 1 aΩ | ||
| Y | 0 S ~ 999.999 GS | |
| 分辨精度 6位 或 1 aS | ||
| G,B | ±(1 a ~ 999.999 G) S 及 0 S | |
| 分辨精度 6位 或 1 aS | ||
| Ls,Lp | ±(1 a ~ 999.999 G) H 及 0 H | |
| 分辨精度 6位 或 1 aH | ||
| Cs,Cp | ±(1 a ~ 999.999 G) F 及 0 F | |
| 分辨精度 6位 或 1 aF | ||
| Rs,Rp | ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω | |
| 分辨精度 6位 或 1 aΩ | ||
| θz, θy | ±180° | -180.000° ~ 179.999° 分辨精度 0.001° |
| 0°~360° | 0.000° ~ 359.999° 分辨精度 0.001° | |
| -360°~0° | -360.000° ~ -0.001° 分辨精度 0.001° | |
| UNWRAP | -9999.999° ~ +9999.999° 分辨精度 0.001° | |
| D,Dε,Dμ | ±(0.00001 ~ 9999.9) 及 0(无名数) | |
| 分辨精度 6位 或 0.00001 | ||
| Qc,QL | ±(0.00001 ~ 99999.9) 及 0(无名数) | |
| 分辨精度 6位 或 0.00001 | ||
| V |
0 ~ 9.99999 Vrms 0 ~ 9.99999 mArms |
|
| 分辨精度 6位 或 1 aVrms | ||
| I | 0 ~ 99.9999 mArms | |
| 分辨精度6位或1aArms | ||
|
εs, εs', εs'' μs, μs', μs'' |
±(1 a ~ 999.999 G) 及 0(无名数) | |
| 分辨精度 6位 或 1 a | ||
|
FREQUENCY (共振点跟踪测量时) |
10 μHz ~ 36.000 000 00 MHz | |
| 分辨精度 10 μHz | ||
■IMPD-EXT(外部扩展测量模式)
| Z | 0 Ω ~ 999.999 GΩ | |
| 分辨精度 6位 或 1 aΩ | ||
| R,X | ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω | |
| 分辨精度 6位 或 1 aΩ | ||
| Y | 0 S ~ 999.999 GS | |
| 分辨精度 6位 或 1 aS | ||
| G,B | ±(1 a ~ 999.999 G) S 及 0 S | |
| 分辨精度 6位 或 1 aS | ||
| Ls,Lp | ±(1 a ~ 999.999 G) H 及 0 H | |
| 分辨精度 6位 或 1 aH | ||
| Cs,Cp | ±(1 a ~ 999.999 G) F 及 0 F | |
| 分辨精度 6位 或 1 aF | ||
| Rs,Rp | ±(1 a ~ 999.999 G) Ω 及 0 Ω | |
| 分辨精度 6位 或 1 aΩ | ||
| θz, θy | ±180° | -180.000° ~ 179.999° |
| 0°~360° | 0.000° ~ 359.999° | |
| -360°~0° | -360.000° ~ -0.001° | |
| UNWRAP | -9999.999° ~ +9999.999° | |
| D,Dε,Dμ | ±(0.00001 ~ 9999.9) 及 0(无名数) | |
| 分辨精度 6位 或 0.00001 | ||
| Qc,Ql | ±(0.00001 ~ 99999.9) 及 0(无名数) | |
| 分辨精度 6位 或 0.00001 | ||
| V1,V2 |
0 ~ 999.999 GVrms,分辨精度 6位 或 1 aVrms 使用各自的输入加压设定值对 PORT1 测量电压、PORT2 测量电压进行校正的电压 |
|
| εs, εs', εs'' | ±(1 a ~ 999.999 G) 及 0(无名数) | |
| 分辨精度 6位 或 1 a | ||
| μs, μs', μs'' | ±(1 a ~ 999.999 G) 及 0(无名数) | |
| 分辨精度 6位 或 1 a | ||
|
FREQUENCY (共振点跟踪测量时) |
10 μHz ~ 36.000 000 00 MHz | |
| 分辨精度 10 μHz | ||
■G-PH(增益/相位测量模式)
| Gain | dBR(增益dB) | −999.999 dB ~ 999.999 dB,分辨精度 0.001 dB |
| R(增益绝对值) | 0 ~ 999.999 G(无名数),分辨精度 6位 或 1 a | |
| a(增益实部) |
±(1 a ~ 999.999 G) a 及 0(无名数), 分辨精度 6位 或 1 a |
|
| b(增益虚部) |
±(1 a ~ 999.999 G) a 及 0(无名数), 分辨精度 6位 或 1 a |
|
| θ(phase) | ±180° | −180.000° ~ 179.999°,分辨精度 0.001° |
| 0° ~ 360° | 0.000° ~ 359.999°,分辨精度 0.001° | |
| −360° ~ 0° | −360.000° ~ −0.001°,分辨精度 0.001° | |
| UNWRAP | −9999.999° ~ +9999.999°,分辨精度 0.001° | |
| GD(群延迟) | ±(1 a ~ 999.999 G) s 及 0 s,分辨精度 6位 或 1 as | |
| V1,V2 |
0 ~ 999.999 GVrms,分辨精度 6位 或 1 aVrms 使用各自的输入加压设定值对 PORT1 测量电压、 PORT2 测量电压进行了校正的电压 |
|
【测量端子】
■IMPD-3T(标准测量模式)HcUR/OSC
| 连接器 | BNC 型连接器(正面面板) | |
| 频率 | 10 μHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 关闭) | |
| 1 kHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 开启) | ||
| 设定分辨率 10 μHz,精度 ±10 ppm(使用内部基准时钟时) | ||
| 测量信号级别 | 电压 | 0 ~ 3.00 Vrms |
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0 | ||
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I/HV DC 偏置设定 [V]≤42.0 | ||
| 设定分辨率 3 位 或 10 μVrms,以较大值为准 | ||
| 精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载) | ||
| 电流 | 0 ~ 60 mArms | |
| (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0 | ||
| 设定分辨率 3 位 或 100 nArms,以较大值为准,精度:标称值 | ||
| 频率特性 | ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下) | |
| ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下) | ||
| ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下) | ||
| ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下) | ||
| ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下) | ||
| 1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω | ||
| 失真率 | 0.2 % 以下 | |
| (100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载) | ||
| ALC | (CV 恒定电压) 或 (CC 恒定电流) / OFF | |
| 输出限制 | 电压:10 μVrms ~ 3.00 Vrms | |
| 设定分辨率:3 位 或 10 μVrms,以较大值为准 | ||
| 电流:100 nArms ~ 60 mArms | ||
| 设定分辨率:3 位 或 100 nArms,以较大值为准 | ||
|
标准 DC 偏置 (选择正面 Hcab/OSC 或背面 DC BIAS OUT) |
电压 | −5.00 V ~ +5.00 V |
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0 | ||
| 设定分辨率:10 mV | ||
| 精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时 | ||
| 电流 | −100 mA ~ +100 mA | |
| (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0 | ||
| 设定分辨率:100 nA,精度:标称值 | ||
| HV DC 偏置 | −40.00 V ~ +40.00 V(无负载时) | |
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I/HV DC 偏置设定 [V]≤42.0 | ||
| 设定分辨率:10 mV | ||
| 精度:±( I/HV DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时 | ||
| 输出阻抗:1 kΩ(标称值) | ||
| 输出阻抗 | 50 Ω(标称值) | |
■HPoT/PORT1, LcUR/PORT2
| 输入端子 | BNC 型连接器(正面面板) |
| 量程 | 10 Ω, 100 Ω, 1 kΩ, 10 kΩ, 100 kΩ, 1 MΩ, AUTO |
■IMPD-2T(高频测量模式)PORT
| 连接器 | N 型连接器(正面面板) | |
| 频率 | 10 μHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 关闭) | |
| 1 kHz ~ 36 MHz(HV DC 偏置 开启) | ||
| 设定分辨率 10 μHz,精度 ±10 ppm(使用内部基准时钟时) | ||
| 测量信号级别 | 电压 | 0 ~ 3.00 Vrms |
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0 | ||
| 设定分辨率 3 位 或 10 μVrms,以较大值为准 | ||
| 精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载) | ||
| 电流 | 0 ~ 60 mArms | |
| (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0 | ||
| 设定分辨率 3 位 或 100 nArms,以较大值为准,精度:标称值 | ||
| 频率特性 | ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下) | |
| ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下) | ||
| ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下) | ||
| ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下) | ||
| ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下) | ||
| 1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω | ||
| 失真率 | 0.2 % 以下 | |
| (100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载) | ||
| ALC | (CV(恒定电压) 或 CC(恒定电流)) / OFF | |
| 输出极限 | 电压:10 μVrms ~ 3.00 Vrms | |
| 设定分辨率:3 位 或 10 μVrms,以较大值为准 | ||
| 电流:100 nArms ~ 60 mArms | ||
| 设定分辨率:3 位 或 100 nArms,以较大值为准 | ||
| 标准 DC 偏置 | 电压 | −5.00 V ~ +5.00 V |
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0 | ||
| 设定分辨率:10 mV | ||
| 精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时 | ||
| 电流 | −100 mA ~ +100 mA | |
| (测量信号级别设定 [Arms]×71) + I 标准 DC 偏置设定 [A]×50]≤5.0 | ||
| 设定分辨率:100 nA,精度:标称值 | ||
| HV DC 偏置 | −40.00 V ~ +40.00 V(无负载时) | |
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I/HV DC 偏置设定 [V]≤42.0 | ||
| 设定分辨率:10 mV | ||
| 精度:±( I/HV DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时 | ||
| 输出阻抗:1 kΩ(标称值) | ||
| 量程 | 1 Ω, 10 Ω, 100 Ω, 1 kΩ, 10 kΩ, 100 kΩ, 1 MΩ, AUTO | |
■IMPD-EXT(外部扩展测量模式)
HcuR/OSC如无特别说明,试样驱动放大器增益设定K=+1.0.ALC关闭
| 连接器 | BNC 型连接器(正面面板) | |
| 频率 | 10 μHz ~ 36 MHz | |
| 设定分辨率 10 μHz,精度:±10 ppm(使用内部基准时钟时) | ||
| 测量信号级别 | 设定范围 | 0 ~ 999 GVrms |
| 根据 K,限制为 0 ~ 3.0)×K |V|×Vrms | ||
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0) | ||
| 分辨率:3 位 或 10 μVrms,以较大值为准 | ||
| 精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载) | ||
| 频率特性 | ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下) | |
| ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下) | ||
| ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下) | ||
| ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下) | ||
| ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下) | ||
| 1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω | ||
| 失真率 | 0.2 % 以下(100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载) | |
| ALC | PORT1 / PORT2 / OFF | |
| 输出限制 | 电压:1 aVrms ~ 999 GVrms | |
| 设定分辨率:3 位 或 1 aVrms,以较大值为准 | ||
| 标准 DC 偏置 | −999 GV ~ +999 GV | |
| 根据 K,限制为 −5.00 K V ~ +5.00 K V | ||
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0 [K]) | ||
| 分辨率:3 位 或 10 mV (K≤1),以较大值为准 | ||
| 精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 测量信号级别设定 [Vrms] 的 3% + 30 mV),无负载时 | ||
| 输出阻抗 | 50 Ω(标称值) | |
|
试样驱动放大器 增益设定 K |
设定定向被测对象供应信号的放大器或衰减器的增益 | |
| 可直接设定施加于测量信号级别,DC 偏置 | ||
| 设定范围:±(1E-12 ~ 1E+12) | ||
| 设定分辨率:3 位 或 1E-12,以较大值为准 | ||
■HPoT/PORT1, LcUR/PORT2
| 输入端子 | BNC 型连接器(正面面板) | |||
| 输入阻抗 | 1 MΩ ±2% 并联 25 pF ±5 pF (Hpot) / 30 pF ±5 pF (Lcur) | |||
| 无损最大输入电压 | ±20 V | |||
| 量程 | 10 mVrms ~ 5 Vrms(1-2-5 程控时序) | |||
| 7 Vrms, AUTO(PORT1, PORT2 可个别设定) | ||||
| ● 量程和最大测量输入电压 | ||||
| 量程 [rms] | 最大测量输入电压 | 量程 [rms] | 最大测量输入电压 | |
| 10 mV | ±16 mV | 500 mV | ±780 mV | |
| 20 mV | ±31 mV | 1 V | ±1.6 V | |
| 50 mV | ±78 mV | 2 V | ±3.1 V | |
| 100 mV | ±160 mV | 5 V | ±7.8 V | |
| 200 mV | ±310 mV | 7 V, AUTO | ±11 V | |
| 输入加权 | 校正电压探头、电流探针、前置放大器等的转换比进行测量(PORT1, PORT2 可个别设定) | |||
| 设定范围:±(1.00000E−15 ~ 999.999E+09) | ||||
| 设定分辨率:6 位 或 1E−15 | ||||
| 超范围检测 | 设定范围:Hpot/PORT1: 0 ~ 7 Vrms;Lcur/PORT2: 0 ~ 7 Vrms | |||
| 设定分辨精度:3 位 或 1 μVrms,以较大值为准 | ||||
| 处理:蜂鸣器警告或测量中止(可开启/关闭) | ||||
■DC BIAS OUT
| 输入端子 | BNC 型连接器(背面板) |
| 设定范围 | −999 GV ~ +999 GV |
| 根据 K,限制为 −5.00×K V ~ +5.00×K V | |
| (测量信号级别设定 [Vrms]×1.42) + I 标准 DC 偏置设定 [V]≤5.0×|K| | |
| 分辨率:3 位 或 10 mV(K=1 时),以较大值为准 | |
| 精度:±( I 标准 DC 偏置设定 [V] 的 1% + 30 mV),无负载时 | |
| 输出阻抗 | 600 Ω(标称值) |
■G-PH(增益/相位测量模式)HcUR/OSC
| 连接器 | BNC 型连接器(正面面板) | |
| 频率 |
10 μHz ~ 36 MHz 设定分辨率 10 μHz,精度:±10 ppm(使用内部基准时时钟) |
|
| 测量信号级别 | 设定范围 | 0 ~ 999 GVrms |
| 根据 K,限制为 (0 ~ 3.0)×|K| Vrms | ||
| 分辨率:3 位 或 10 μVrms(K=1 时),以较大值为准 | ||
| 精度:±0.3 dB 以内(1 kHz, 70 mVrms ~ 3.0 Vrms, 无负载) | ||
| 频率特性 | ±0.3 dB 以内(100 kHz 以下) | |
| ±0.5 dB 以内(1 MHz 以下) | ||
| ±1.0 dB 以内(15 MHz 以下) | ||
| ±3.0 dB 以内(30 MHz 以下) | ||
| ±4.0 dB 以内(36 MHz 以下) | ||
| 1 kHz 基准,70 mVrms ~ 3 Vrms,使用标准 DC 偏置(设定 0 V),负载 50 Ω | ||
| 失真率 | 0.2 % 以下(100 kHz 以下,BW500 kHz,3 Vrms 输出时,无负载) | |
| ALC | PORT1 / PORT2 / OFF | |
| 输出限制 | 电压:1 aVrms ~ 999 GVrms | |
| 设定分辨率:3 位 或 1 aVrms,以较大值为准 | ||
■G-PH(增益/相位测量模式)续
